碳化硅研磨液
鉆石粗磨液
1. 應用領域
本產品主要用于碳化硅晶片的粗磨減薄。
2. 產品規格
| 產品類型 | 粒度規格 | 磨料類型 | 性質 |
| DPI-SiC | D50=2-4μm | 單晶金剛石 | 穩定懸浮，水溶性載體 |
可根據客戶特殊要求進行定制。
3. 產品特點
(1)產品搭配鑄鐵盤使用能夠實現材料高去除率的同時保證碳化硅晶片質量（Warp值，翹曲度，TTV）；
(2)產品具有良好的防銹性能；
(3)產品對金剛石磨料懸浮性穩定，長時間放置無明顯的沉降現象；
(4)嚴格的質量控制，確保產品質量的一致性和穩定性。
鉆石精磨液
1. 應用領域
本產品主要用于碳化硅晶片等的精磨拋光。
2. 產品規格
| 產品類型 | 粒度規格 | 磨料類型 | 性質 |
| DPP-SiC | D50=2-4μm | 多晶/類多晶 | 穩定懸浮，水溶性載體 |
| D50=0-1μm | 多晶/類多晶 | 穩定懸浮，水溶性載體 | |
| D50=0.2μm | 類多晶 | 穩定懸浮，水溶性載體 |
可根據客戶特殊要求進行定制。
3. 產品特點
(1)產品搭配專門的碳化硅精磨墊使用達到高去除率，提升效率；
(2)精磨加工后的碳化硅晶片表面質量高（粗糙度，劃傷，亞表面損傷層等參數）；
(3)水溶性載體配方，具有較好清洗性能；
(4)產品的懸浮穩定性好；
(5)產品相較于常規的水基配方，潤滑性能更優。
